Awarded

Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)

Name: Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Creator: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Published: 2026-03-30
License: https://ted.europa.eu/en/simap/legal-notice

Buyer: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Winners: Oxford Instruments GmbH
Contract value: no value published
Bids received: 2
Published: 30 Mar 2026
Awarded: 20 Mar 2026
Contract start: 20 Mar 2026
Sector: Printed matter
Region: Berlin (DE300)
Source: Original notice on TED (221453-2026)

More awards from this buyer

Awarded	Buyer	Winner	Contract value	Published
Beschaffung von Hardware im Rahmen des Vorhabens BECCAL	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik	Cicor Microtech AG	€380,680	10 Aug 2026
Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik	Raith BV	—	3 Aug 2026
Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik	Raith B.V.	—	24 Jun 2026
Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik	Plasma Therm Europe	—	30 Mar 2026
Beschaffung Gold,Platin;Palladium	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik	EMT Edelmetalltechnik GmbH	—	6 Mar 2026
Koordinierungsaufgaben im European Quantum Flagship 2Jahre Laufzeit	Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik	Falling Walls Foundation gGmbH	—	16 Jan 2026