Zuschlag
Studie zur Verwendung von laborbasierten EUV-Strahlungsquellen zur Untersuchung von Degradations- und Kontaminationsprozessen mittels in-situ Messverfahren - Phase 2 - PR1171190-2310-I
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Auftragnehmer
- RWTH Aachen University
- Auftragswert
- kein Wert veröffentlicht
- Angebote
- 1
- Veröffentlicht
- 7. Aug. 2026
- Zuschlag
- 7. Aug. 2026
- Vertragsbeginn
- 8. Aug. 2026
- Vertragsende
- 31. Dez. 2029angegeben