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Auftragnehmer
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Heidelberg · DEU
Zuschläge
1
Vergebenes Volumen
190.785 €
1 / 1 mit Wert
Auftraggeber
1
Branchen
1
USt-IdNr. DE143445073
Zuschläge
| Zuschlag | Auftraggeber | Auftragnehmer | Auftragswert | Veröffentlicht |
|---|---|---|---|---|
| maskenloses UV-Direktlithographie-System | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 190.785 € | 14. Juli 2026 |
| Maskenlose Lithographie | Technische Universität München | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 444.500 € | 24. März 2026 |
| Laserbelichter MLA 150 - PR933722-2050-W | Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | — | 15. Sept. 2025 |
| DFG-Az.: PE 1832/23-1 (A 76) Beschaffung eines Lithographie-Systems | Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. | Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | — | 10. Sept. 2025 |