Zuschlag

Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes

Name: Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Creator: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Published: 2026-03-26
License: https://ted.europa.eu/en/simap/legal-notice

Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Auftragnehmer: ASM Europe B.V.
Auftragswert: kein Wert veröffentlicht
Angebote: 1
Veröffentlicht: 26. März 2026
Zuschlag: 26. März 2026
Vertragsbeginn: 26. März 2026
Branche: Industrielle Maschinen
Region: Brandenburg (DE403)
Quelle: Originalbekanntmachung bei TED (212739-2026)

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